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【產(chǎn)品介紹】kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)

發(fā)表時間：2024-12-26 15:54



kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)：對薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行準(zhǔn)確的測量，還可對二維應(yīng)力

Mapping成像統(tǒng)計(jì)分析；同時準(zhǔn)確測量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系。



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