kSA 400 RHEED圖形分析系統:通過對RHEED入射電子能量的控制，用高分辨、高速CCD直接采集來自樣品對電子束的衍射圖像，并用專業軟件系統對其進行圖像處理和數據分析， 自動計算測量晶格間距、共振長度和振動強度等參數，同時通過衍射條紋的強度震蕩曲線檢測薄膜沉積速率等信息。
