Hartmann - Shack波前傳感器/波前分析儀是用于激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預測以及光束質量因子M2的確定，從同時記錄強度和相位分布光束質量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。

系統基于微透鏡陣列，將入射波分散成大量的次級光波。用相機檢測每個獨立聚焦點的強度和位置，通過單次測試便能重構光束剖面和波前。

主要功能

        光束傳播（NIR~EUV）

        基于ISO光束參數分析

        M2光束質量因子實時測量

        聚焦性能檢測

        光學測試/Zernike分析

主要特點

        單次測試可獲得所有光束參數

        光譜范圍: 1100nm~1nm

        動態范圍：up to 100λ

        靈敏度：<100pm

        多種規格微透鏡陣列和相機可選

        客戶方案定制

光束測試軟件

測試基于ISO標準