主要特點
Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）
緊湊結構
光化性能檢測
-EUVL 等離子源
-自由電子激光
-HHG高次諧波束
實時光學調整
單個脈沖重復性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)
技術規格
波長范圍：<1nm~60nm（量子轉換涂層）
視場：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）
動態范圍：14Bit
Hartmann 盤：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch
傾角：±10°
XY調節范圍：±10mm
UHV兼容：CF63法蘭
Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH
(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after
(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.
Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )
Spot pattern @ λ=1.5 nm
(LCLS / Stanford)
Reconstructed intensity profile
光束測試軟件
測試基于ISO標準
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence發散 | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩定性 | ISO 11670 |
M2 質量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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