用于高功率DUV激光器和極深紫外EUV光源的光學部件性能綜合測量，且性能和參數測量基于ISO國際標準。

別名：弱吸收測量儀，強激光材料性能測試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測量儀，光熱透鏡效應測量儀，光熱效應測量儀

主要特點

        基于ISO11551標準吸收測量

        基于ISO11254標準激光誘導損傷閾值測量

        波前畸變（透鏡加熱，擠壓）

        透射測量

        反射測量

        基于ISO13696散射測量

        衰減（color centers）

        熒光/發光

Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm

可用的輻射源

        高功率準分子激光器（包括EUV和DUV激光器）

              -351nm、308nm、248nm、193nm、157nm

        固體激光器

              -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脈沖寬度）

              -1070nm光纖激光（500W cw）

              -可調諧OPO：680~980nm+IR-Idler

        激光誘導EUV/XUV源

              -13nm

              -~4nm

Two‐dimensional scatter map

@248nm

Micrographs of laser‐induced damage sites of various laser‐optical materials

光束測試軟件

測試基于ISO標準