kSA MOS Ultra Scan采用非接觸 MOS（多光束光學傳感） 激光技術；不但可以對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行測量，還可對二維應力 Mapping成像統計分析；同時測量應力、曲率隨溫度變化的關系。

基于kSA MOS 技術，kSA MOS Ultra Scan使用二維激光陣列掃描繪制半導體晶圓、光學鏡面、玻璃、透鏡等各種拋光表面的二維曲率、翹曲度和薄膜應力分布圖。kSA MOS Ultra Scan適用于室溫條件下測量需求，實現晶元全自動2D掃描測量，同時獲得3D圖。

1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm；2m （可選）；二維應力分析

2.掃描速度：可達20mm/s（x,y）；

3.XY雙向掃描平臺掃描步進/分辨率：1 μm；

4.平均曲率分辨率：20km，5×10^-5 1/m (1-sigma)；

5.薄膜應力測量范圍：3.2×10⁶到7.8×10¹⁰dynes/cm²（或者3.2×10⁵Pa to7.8×10⁹Pa）(1-sigma)；

6.應力測量分辨率：優于0.32MPa或1% (1-sigma);

7.應力測量重復性：0.02MPa(1-sigma)；

8.平均曲率重復性：<5×10^-51/m (1 sigma) (1-sigma)；

9.程序化控制掃描模式：選定區域、多點線性掃描、全樣品掃描；

10.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應力成像分析；

11.測量功能：曲率、曲率半徑、應力強度、應力和翹曲等；

12.二維激光陣列測量技術：不但可以對樣品表面進行二維曲率成像分析；而且這種設計能保證所有陣列的激光光點一直在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結果的影響，同時提高測試的分辨率；

1.14位單色CCD檢測系統：分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size，有效感光面積18.13mm x 13.6mm，曝光時間可控范圍10us to 26.8；

2.激光和光學系統：激光波長660nm(可定制其他波長激光器)，激光功率70mW，恒電流運行模式，穩定性≤2%（8小時）；帶溫控的激光控制器（出廠設定溫度25°C），溫度穩定性<0.2°C；

3.自動光學追蹤系統：當進行樣品測試時，用來追蹤伺服系統而檢測來自樣品表面反射光；

4.XY方向線性掃描樣品臺：掃描范圍300*300mm；分辨率1um；掃描速度可達20mm/sec.，軟件控制；

5.計算機、MOS數據采集和系統控制電路板：Windows 操作系統；

6.測量分析軟件：數據采集，系統控制，自動激光光點檢測，自動曝光時間檢測（避免由于材料表面反射率的強烈變化而引起檢測器過載現象），曲率、曲率半徑、應力強度、應力、翹曲數據采集和圖像顯示，您可以選擇陣列任意數量激光點進行測試，分析功能：有線剖面分析、統計分析、等高線圖分析等，便捷的2D和3D圖像顯示和調整功能，數據ASCII輸出；

光學薄膜應力分布圖

表面Patterned試樣應力分布圖

樣品翹曲測量結果