廠家：k-Space Associates, Inc.
型號：kSA ScanningPyro
系統利用兩個Pyrometer測溫儀同時通過MOCVD設備的可視窗口掃描石墨盤，進行溫度掃描測量。在單次測量過程中，整個石墨盤在以一定轉速旋轉，雙Pyrometer探頭從石墨盤中心逐步掃描到邊緣，這樣可以快速地得到整盤的溫度分布圖。
該系統可安裝在Veeco K465i和EPIK700型MOCVD上，或其他品牌類似系統上，實時快速的對石墨盤的整體溫度分布進行Mapping測量，分析盤面溫度的分布均勻性；有助于客戶調整加熱區域，改善并優化工藝，以提高產品質量和器件性能。
1.適配 MOCVD 型號：Veeco K465i及EPIK700以及其他品牌類似系統；
2.掃描范圍：全盤掃描，自定義部分區域掃描；
3.溫度范圍：530℃-1250℃（可選更高）；
4.溫度分辨率：530-700℃：±1℃；700-1250℃：±0.3℃；
5.掃描分辨率：用戶自定義，通常設置為徑向掃描步進：1mm，角度分辨率：0.3°或更高；
6.掃描時間：與石墨盤旋轉速度有關，例如：盤轉速為600rpm，徑向掃描步進為1mm 時，整盤掃描時間93s；可預設掃描開始時間或兩次掃描時間間隔，以便與薄膜生長狀態相關聯；
7.溫度分析功能：溫度2D或3D直觀圖形顯示及統計分析，定義的半徑或直徑上的徑向溫度分布，指定半徑上的溫度分布并與RT數據進行比對，目標區域放大分析，Crosshair徑向分析，石墨盤每個pocket溫度統計分析（**值，*小值、平均值及標準偏差）;
8.溫度校準：既可校準到已知溫度設定點，也可使用kSA Spectra Temp溫度測溫工具校準到絕對溫度。
分析界面
注：同一石墨盤相同條件下的發射率與溫度對比圖
統計界面
